危险固体废物、医疗和生产垃圾焚烧过程中释放出了一定的热值烟气，为了充分回收利用这些烟气热量，一般都会配套设置余热锅炉，由于焚烧炉产生的热量相对比较固定，余热锅炉产生的蒸汽量也是对应固定的。

燃煤燃烧释放出来的高温烟气经烟道输送至余热锅炉入口，再流经过热器、蒸发器和省煤器，经烟囱排入大气，排烟温度一般为150～180℃，烟气温度从高温降到排烟温度所释放出的热量用来使水变成蒸汽。

余热锅炉的汽水混合物离开其蒸发器有效的进入其上部锅筒通过汽水分离设备分离，水落到锅筒内水空间进入下降管继续吸热产汽，而蒸汽从锅筒上部进入过热器，吸收热量使饱和蒸汽变成过热蒸汽。

余热锅炉会根据产汽过程的三个阶段对应三个受热面，即省煤器、蒸发器和过热器，如果不需要过热蒸汽，只需要饱和蒸汽，有机废气处理可以不装过热器。当有再热蒸汽时，则可加设再热器。结尾进入后烟箱烟道内的余热回收装置，高温烟气变成低温烟气经烟囱排入大气。